အလွန်သန့်စင်သော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ဓာတ်ငွေ့စနစ်များအတွက် အဆင့်မြင့် IGS မျက်နှာပြင်တပ်ဆင် C-Seal စစ်ထုတ်ကိရိယာများ

ဖော်ပြချက်

HENGKO Surface Mount Filters များကို semiconductor OEM tools များတွင်အသုံးပြုသော integrated gas systems များ၏ တောင်းဆိုမှုများသော လိုအပ်ချက်များကို ဖြည့်ဆည်းရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ 0.003 µm တွင် လုပ်ငန်းနယ်ပယ်တွင် ဦးဆောင် filtration ကို ပေးဆောင်သည့် ဤ filter များသည် 120 slpm တွင် ≥99.9999999% (9-LRV) ၏ အမှုန် interception စွမ်းဆောင်ရည်ဖြင့် ထူးကဲသော စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို သေချာစေသည်။

စစ်ထုတ်ကိရိယာနှင့် အိမ်ရာအတွက် ခိုင်ခံ့သော 316L သံမဏိအမှုန့်ဖြင့် sinter လုပ်ထားသော ဤစစ်ထုတ်ကိရိယာများသည် SEMI F86-0304 သတ်မှတ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီပြီး C-seal configuration ရှိသော 1.125” ဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးရေးစနစ်များအတွက် စိတ်ကြိုက်ပြုလုပ်ထားသော two-port အစိတ်အပိုင်းများ ပါရှိသည်။ ၎င်းတို့သည် 100°C တွင် အများဆုံး inlet pressure 3.4 MPa နှင့် 100°C တွင် အများဆုံး operating pressure differential 0.69 MPa ကို ထောက်ပံ့ပေးသည်။

C-type နှင့် W-type seal သတ်မှတ်ချက်များ နှစ်မျိုးလုံးနှင့် ကိုက်ညီသော ဤအထူးပြု filter များသည် အမှုန်အမွှားများ ထုတ်လွှတ်ခြင်းဖြင့် အောက်ပိုင်း သန့်ရှင်းမှုကို ရရှိစေသည်။

Ra မျက်နှာပြင်အပြီးသတ်ဖြင့်အပြင်ဘက်တွင် < 1.6 µm နှင့် Raအတွင်းပိုင်းတွင် < 0.13 µm ရှိသောကြောင့် ၎င်းတို့ကို 460°C အထိ မြင့်မားသောအပူချိန်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိအောင် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ ပေါင်းစပ်ရလွယ်ကူခြင်းနှင့် မော်ဂျူလာဒီဇိုင်းအဆင့်မြှင့်တင်မှုများအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော ဤစစ်ထုတ်ကိရိယာများသည် တပ်ဆင်ခြင်းနှင့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းခြင်းကို ရိုးရှင်းစေပြီး semiconductor gas ပို့ဆောင်ခြင်းနှင့် ထိန်းချုပ်ခြင်းအပလီကေးရှင်းများတွင် စနစ်စွမ်းဆောင်ရည်ကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် ကူညီပေးသည်။

ထုတ်ကုန်အင်္ဂါရပ်

▶ စုစုပေါင်း 316L သံမဏိတည်ဆောက်ပုံ
▶ သေးငယ်သောဒီဇိုင်း၊ ကျစ်လစ်သောဖွဲ့စည်းပုံ၊ နေရာချွေတာခြင်း
▶ ဓာတ်ငွေ့အစားထိုးခြင်းနှင့် စွန့်ထုတ်ခြင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ အလွန်ကောင်းမွန်သည်
▶ မြင့်မားသော အပူချိန်၊ မြင့်မားသော ဖိအားနှင့် သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း
▶ လျှပ်စစ်ဖြင့် ඔප දැමීම ...316L သံမဏိ အိမ်ရာ
▶ တပ်ဆင်ရလွယ်ကူပြီး ထိရောက်သော ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု
▶ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ တံဆိပ်ခတ်ခြင်း၊ အလယ်အလတ်နှင့် ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံအရ ဂဟေမဆက်ထားခြင်း

အချက်အလက်စာရွက်

အရွယ်အစား

မှာယူနိုင်သော အပိုင်းနံပါတ်နှင့် အရွယ်အစားအသေးစိတ်အချက်အလက်များမှာ အောက်ပါအတိုင်းဖြစ်သည်။

ပုံမှန်အသုံးချမှုများ

W-seal နှင့် C-seal၊ ၁.၁၂၅ လက်မ နှင့် ၁.၅ လက်မ မျက်နှာပြင်တပ်ဆင်နိုင်သော မော်ဂျူလာဓာတ်ငွေ့ပေးပို့စနစ်များနှင့် တွဲဖက်အသုံးပြုရန်။